EUV용 포토레지스트 생산
'듀폰코리아' 천안공장 찾아
추가 투자 시 전폭 지원 약속

[내포=충청일보 박보성 기자] 양승조 충남지사는 포토레지스트 및 CMP패드 등 반도체 핵심소재 생산기업인 '듀폰코리아'의 롬엔드하스전자재료 천안공장을 26일 방문, 소통의 시간을 가졌다.

양 지사의 이날 방문은 도내 주요 외투기업의 애로사항을 해결함으로써 '포스트 코로나' 속 경제를 살리기 위해 마련됐다.

미국의 글로벌 화학소재 기업 듀폰(DuPont)은 지난해 반도체 핵심 소재인 '극자외선(EUV)용 포토레지스트' 생산 공장을 천안에 건설하기로 하고 현재 생산 공장 및 설비 등에 투자를 진행 중이다.

투자 규모는 2021년까지 총 2800만달러(약 328억원)다.

EUV용 포토레지스트는 지난해 일본이 한국으로의 수출을 통제한 3대 품목 중 하나로, 반도체 초미세 공정에 쓰이는 핵심 소재다. 

이 소재는 반도체 기판(웨이퍼) 위에 패턴을 형성하는 공정에 사용되며 파장이 짧아 미세화 공정에 적합하다.

현재 EUV 포토레지스트 시장은 JSR·신에쓰 ·도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계시장의 90% 이상을 점유하고 있다. 그만큼 우리나라는 일본에 대한 의존도가 높았다.

국내에서도 불화크립톤KrF), 불화아르곤 (ArF 등 다른 포토레지스트는 일부 생산이 가능하지만 파장이 각각 248나노미터(㎚)와 198㎚로 길어 EUV용(13.5㎚)보다 미세공정에 적합하지 못한 단점이 있다.

회사 관계자는 "그동안 도의 전폭적인 지원으로 듀폰코리아가 충남에 자리 잡을 수 있었다"며 현재 투자 중인 EUV 포토레지스트도 다른 나라에 당초 투자 예정이었으나 도의 적극 지원에 결국 한국 천안으로 입지를 결정했다. 향후 추가 투자 시에도 도의 변함없는 지원이 필요하다"고 건의했다.

양 지사는 "듀폰코리아는 천안 에 3개 공장이 가동 중이고 직원이 320여 명에 달하는 지역의 가장 중요한 기업 중 하나"라며 "코로나19 극복은 물론 반도체·소재·부품 관련 추가 투자 시 더욱 지원을 아끼지 않겠다"고 말했다.

양 지사는 2018년 11월과 2019년 4월 미국 본사를 방문, 1억500만달러 외자유치 MOU를 체결했다.

 

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