이번에 개발한 '스마트 가스 센서 플랫폼'은 기존 반도체 공정 기술에 mems 기술을 접목, 동일 기판에 회로와 센서를 집적시킴으로써 센서 플랫폼의 초소형화를 가능하게 했다.
또 고성능 마이크로 히터를 사용해 기존 센서 플랫폼의 10%이하의 초저전력 작동을 가능하게 했으며 나노물질을 센서로 사용해 빠른 반응속도를 구현함으로써 향후 유비쿼터스 환경에서 광범위하게 사용될 수 있는 핵심기술이 구현됐다는 평가다.
아울러 일체형 '바이오 센서칩' 기술의 경우 기존의 바이오 센서칩 기술에서 문제가 된 복잡한 작동방식, 실리콘 기반의 집적 회로와의 일체화의 어려움, 고가의 칩 가격, 소형화의 한계 등을 극복해 u-헬스, u-환경 등에 널리 사용될 수 있을 것으로 보인다.
이번 연구개발 결과는 지난해 말 미국 워싱턴 dc에서 열린 국제전자소자회의(iedm)에서 발표됐으며 어플라이드 피직스 레터(apl), 나노테크놀로지 등의 학술지에도 실렸다.
etri 맹성렬 박사는 "이번 연구성과를 기반으로 국내외 기업체와 공동으로 기술상용화를 이루는데 매진하겠다"고 말했다.
/조명휘 기자 joemedia@